本文標題：" 提高電子顯微鏡分辨率有哪些方法"
發布者：YIYI ------ 分類: 技術文章 ------ 人瀏覽過 -----時間：2014-3-3 15:49:36
提高電子顯微鏡分辨率有哪些方法
電子顯微鏡主要是采用短光波去提升分辨率，然后檢測微小的物體，物鏡分辨率的高低與制造
的像是不是清晰有著很直接的關聯，則目鏡沒有這個功能，調高電子顯微鏡放大率的方法有
以下幾種。
1，維持良好的加速電壓，加速電壓不可以太低，正常標準范圍在20到30千伏，2，爭,取減短
工作距離，工作距離不能太長，正常在5到8毫米，3，維持住樣品的傾斜度，標準在10到150
聚光鏡的數值調在600到650期間，5，對中良好，確保電子束對中，信號強，亮度明，6，常常
把燈絲更換，使燈絲飽和，束流固定，束流的值確保在100到150之間，7，物鏡光闌合軸好，
8，延長抽真空時間可以提升的真空度，或檢測真空系統的密封狀態
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